Các bộ lọc là bộ phận không thể thiếu để duy trì sự trong sạch của môi trường phòng sạch. Vì vậy việc bảo trì, bảo quản bộ lọc luôn luôn là công đoạn quan trọng phải được quan tâm. Cùng chúng tôi tìm hiểu xem Cách kiểm tra tính toàn vẹn của bộ lọc HEPA(đặc biệt là bộ lọc Hepa) như thế nào nhé.
Tại sao phải kiểm tra toàn vẹn của bộ lọc Hepa
Các nhà sản xuất bộ lọc Hepa cho phòng sạch sẽ kiểm tra sản phẩm của họ về hiệu quả loại bỏ hạt trước khi đưa ra thị trường. Tương tự, sau khi nó được lắp đặt tại công trường, chúng ta cũng cần phải kiểm tra tính toàn vẹn của bộ lọc trước khi đi vào lắp đặt.
Kiểm tra DOP, còn được gọi là kiểm tra tính toàn vẹn của bộ lọc, hoặc kiểm tra rò rỉ, là một trong những phương pháp được sử dụng nhiều nhất theo tiêu chuẩn công nghiệp. Việc kiểm tra được khuyến nghị lặp lại trong khoảng thời gian đều đặn để xác minh tính hiệu quả liên tục của bộ lọc. Trong quá trình thử nghiệm, bộ lọc được kiểm tra bằng cách đưa các hạt vào và đo đầu ra.
Các tiêu chuẩn phòng sạch hiện tại cũng đều yêu cầu việc kiểm tra tính toàn vẹn của bộ lọc một cách định kỳ. Điều này nhằm đảm bảo độ sạch của phòng luôn được đảm bảo như tiêu chuẩn thiết kế ban đầu. Vì các bộ lọc sử dụng một thời gian sẽ không mang lại hiệu quả cao như khi còn mới. Do đó cần phải kiểm tra thường xuyên để xử lý, thay thế kịp thời.
Tốc độ gió cho bài kiểm tra
Chúng ta phải thiết lập tốc độ gió trước khi đi vào kiểm tra. Khi kiểm tra độ rò rỉ bộ lọc tại chỗ, hệ thống phải được kiểm tra theo các thử nghiệm được mô tả trong ISO 14644-3.
Điều này để xác minh thể tích luồng không khí, thử nghiệm vận tốc cân bằng và tính đồng nhất của các thông số này nằm trong giới hạn quy định. Các thử nghiệm này phải đặt trước thử nghiệm đồng nhất và thử nghiệm rò rỉ.
Tiêu chuẩn ISO 14664-3 đề xuất mức thâm nhập sẽ là 0,01% nồng độ thử nghiệm nhưng cho phép các tiêu chí thay thế được thỏa thuận giữa khách hàng và nhà cung cấp. Tuy nhiên, hướng dẫn của FDA chỉ ra rằng sự thâm nhập 0,01% vẫn là một sự rò rỉ.
Tốt nhất nên bắt đầu kiểm tra ở khu vực miếng đệm, thay vì mặt bộ lọc, để cho không có một khu vực nào bị rò rỉ ra môi trường phòng sạch. Sau khi kiểm tra miếng đệm, chúng ta phải chuyển sang kiểm tra việc làm kín giữa phương tiện lọc và vỏ, sau đó đến mặt bộ lọc.
Cách chọn bình xịt kiểm tra bộ lọc
Có ba loại bình xịt có thể được sử dụng để kiểm tra việc lắp đặt bộ lọc trong phòng sạch. Đó là:
- Aerosol tạo lạnh
- Aerosol được tạo ra nóng
- Vi cầu
Hai loại đầu tiên được hình thành từ chất lỏng loại dầu. Quả cầu polystyrene latex (PSL) được sử dụng phổ biến nhất trong các ứng dụng vi điện tử, trong khi polyalphaolefin (PAO) thì được sử dụng trong khoa học đời sống.
Trước khi bắt đầu quét bộ lọc, cần thiết lập nồng độ của các hạt aerosol kiểm tra ngược dòng của bộ lọc. Tiêu chuẩn ISO 14644-3 đề xuất nồng độ nằm trong khoảng 10µg / l và 100µg / l nên được sử dụng cho phương pháp kiểm tra trắc quang.
Nó cũng cho thấy rằng nồng độ thấp hơn 20µg / l làm giảm độ nhạy, và nồng độ trên 80µg / l gây tắc bộ lọc. Tốt nhất là sử dụng nồng độ khuyến nghị thấp hơn để giảm thiểu khả năng bị tắc nghẽn hoặc sự cố chảy máu.
Vậy chúng ta nên tìm hiểu xem thế nào là rò rỉ?
Cũng cần hiểu rõ là vận tốc quét của đầu dò trên mặt bộ lọc. Nếu nó được thực hiện một cách nhanh chóng khi bộ lọc rò rỉ, có thể không đủ thời gian để bộ lọc tiếp nhận một số thách thức của sol khí từ chỗ rò rỉ và điều này sẽ khiến giá trị giảm xuống dưới tỷ lệ được chỉ định.
Tốc độ quét liên quan đến độ sâu của kích thước đầu dò. Độ sâu của đầu dò càng nhỏ thì thời gian qua lỗ rò rỉ càng ít và do đó không đủ; ít rò rỉ hơn sẽ được tìm thấy so với một đầu dò sâu hơn.
Theo tiêu chuẩn ISO 14644-3, tốc độ quét được tính theo phương trình
sau:
Tốc độ quét (cm / s) = 15 / w
Ở đây, w là chiều rộng của đầu dò đi vuông góc với hướng chuyển động (cm).
Ví dụ, khi sử dụng đầu dò 3cm x 3cm, chiều rộng của đầu dò đi qua vuông góc với hướng quét là 3 cm, do đó vận tốc quét có thể được tính như sau:
Vận tốc quét (cm / s) = 15/3 = 5 cm / s
Quét rò rỉ:
Thông thường, bộ lọc HEPA sẽ có một khoảng trống giữa bộ lọc và vỏ của nó để đặt miếng đệm ở phía sau. Để xác định vị trí rò rỉ gioăng ở khu vực giữa khung lọc và vỏ, đầu dò được đưa vào khu vực đó và sau đó khu vực đó sẽ được quét.
Các hạt từ một miếng đệm bị rò rỉ sẽ lan ra và lấp đầy khoảng trống giữa bộ lọc và vỏ (xem Hình bên dưới). Khi quét xung quanh khu vực tìm kiếm miếng đệm rò rỉ, người thử nghiệm sẽ gặp phải nồng độ cao của các hạt cách chỗ rò rỉ thực tế ở khoảng cách xa khiến họ nghĩ rằng đã phát hiện ra một vết rò rỉ.
Trong tình huống này, nên tháo đầu dò ra khỏi ống mẫu và quét với diện tích ống nhỏ hơn nhiều để xác định vị trí đọc mức độ thâm nhập của hạt cao nhất, do đó xác định rò rỉ miếng đệm.
Trong trường hợp vòng đệm bị rò rỉ đáng kể, có thể áp dụng một tia khí không có hạt vào khu vực rò rỉ để làm sạch các hạt.
Cách để quét mặt bộ lọc chính xác nhất
Toàn bộ bề mặt của mỗi bộ lọc phải được quét để tìm rò rỉ bằng cách sử dụng các nét hơi chồng lên nhau của đầu dò và di chuyển nó với tốc độ không vượt quá tốc độ quét tối đa đã được tính toán. Đầu dò phải được giữ cách vật liệu lọc khoảng 30mm.
Nếu phát hiện có rò rỉ, cần phải quay lại mặt đi từ từ qua nó và quay lại từ từ một lần nữa để xác định chính xác vị trí. Tháo đầu dò và chỉ sử dụng ống giúp xác định chính xác vị trí rò rỉ.
Có thể cần phải đi chậm qua lỗ rò rỉ nhiều lần trên mỗi trục để xác định vị trí chính xác. Khi có sự cố rò rỉ miếng đệm, các hạt có thể tràn lên mặt bộ lọc và khiến nó báo cáo một cách sai lầm là có rò rỉ trên mặt bộ lọc.
Do đó, nên bắt đầu quét bộ lọc tại khu vực miếng đệm.Việc đọc sai có thể được khắc phục phần lớn bằng cách sử dụng một tấm vách ngăn được giữ trên mặt bộ lọc khi mặt bộ lọc lân cận được quét.
Xử lý dòng không khí xoáy
Các dòng khí xoáy là một vấn đề lớn khi thử nghiệm bộ cách ly trong phòng sạch dòng chảy rối nếu bộ lọc HEPA hoặc các thiết bị dòng chảy tầng đang hoạt động cùng một lúc. Tại đây, việc rơi vãi vật liệu thử có thể gây ra nồng độ hạt đáng kể trong phòng.
Các hạt này có thể bị hút vào khoảng trống giữa bộ lọc và khung, hoặc tràn ra mặt bộ lọc, do đó rất khó xác định xem có rò rỉ hay không và nếu có thì rò rỉ đến từ vỏ, miếng đệm hoặc phương tiện bộ lọc.
Vấn đề này có thể được giảm thiểu bằng cách sử dụng tường chống cuốn. Tường được đẩy vào trần và mặt lọc của tường đang được kiểm tra xem có bị rò rỉ hay không.
Một giải pháp thực tế là sử dụng nắp của máy đo cân bằng như một bức tường, che bộ lọc và sau đó vào bên trong Laminar Flow Hood để kiểm tra bộ lọc HEPA
Khắc phục sự cố rò rỉ
Nếu phát hiện thấy điểm rò rỉ trong bộ lọc HEPA, cách tốt nhất để khắc phục là làm theo quy trình khuyến nghị. Các phần khác nhau ở trạng thái IEST RP-CC034.2: “Sửa chữa lấp đầy không được chặn hoặc hạn chế hơn 3% diện tích mặt bộ lọc và không sửa chữa đơn lẻ nào phải có kích thước vượt quá 3,8 cm (1,5 in)”.
Sau khi quá trình sửa chữa hoàn tất và thời gian sửa chữa phù hợp đã được cho phép để miếng dán thiết lập, hãy kiểm tra rò rỉ gần khu vực sửa chữa.
Như chúng ta thấy, việc kiểm tra và xử lý luồng không khí qua bộ lọc HEPA là vô cùng quan trọng trong giúp đảm bảo được chất lượng hoạt động của phòng sạch. Hi vọng bài viết trên sẽ giúp ích cho bạn kiểm tra được tính toàn vẹn của bộ lọc EPA một cách tốt nhất.
Xem thêm các bài viết về phòng sạch tại đây!
